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- 产品名称：神崎精选EBARA荏原干式真空泵
- 产品型号：EV-M805SF
- 产品展商：EBARA荏原
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简单介绍
神崎精选EBARA荏原干式真空泵
EBARA独特的高温技术支持高负载工艺，在半导体、液晶和太阳能电池制造过程中产生反应副产物。 高节能性能同时实现高负载工艺和节能。 防腐蚀材料为标准配置，同时也有排量为110,000升/分钟的大排量型号。 根据工艺条件，产品种类繁多，能够处理各种高负载工艺。
产品描述
神崎精选EBARA荏原干式真空泵
神崎精选EBARA荏原干式真空泵
EBARA独特的高温技术支持高负载工艺，在半导体、液晶和太阳能电池制造过程中产生反应副产物。 高节能性能同时实现高负载工艺和节能。 防腐蚀材料为标准配置，同时也有排量为110,000升/分钟的大排量型号。 根据工艺条件，产品种类繁多，能够处理各种高负载工艺。
|
模型
|
单位
|
EV-M20N
|
EV-M102N
|
EV-M202N
|
EV-M302N
|
EV-M502N
|
EV-M505SF
|
EV-M802N
|
EV-M805SF
|
EV-M1205SF
|
|
冷却水
|
流
|
L/min
|
3~8
|
3~8
|
3.5~8
|
4~8
|
5~8
|
5~8
|
5~8
|
5~8
|
5~8
|
|
温度
|
°C
|
*多30人
|
*多30人
|
*多30人
|
*多30人
|
*多30人
|
*多30人
|
*多30人
|
*多30人
|
*多30人
|
|
电源
|
功率容量
|
kVA
|
3.3
|
5.4
|
6
|
6.8
|
7.1
|
15.7
|
8.3
|
19.4
|
14.2
|
|
排气速度
|
L/min
|
1800
|
10000
|
20000
|
30000
|
50000
|
50000
|
80000
|
80000
|
110000
|
|
达到压力
|
爸
|
5
|
0.5
|
0.5
|
0.5
|
0.5
|
0.5
|
0.5
|
0.5
|
0.5
|
|
连接口径
|
进气口
|
|
NW40
|
ISO100
|
ISO100
|
ISO100
|
ISO160
|
ISO160
|
ISO200
|
ISO200
|
ISO200
|
|
排气口
|
|
NW40
|
NW40
|
NW40
|
NW40
|
NW40
|
NW40
|
NW40
|
NW40
|
NW40
|
|
达到压力时的近似功率。
|
千瓦
|
1.2
|
1.8
|
1.9
|
2.3
|
2.1
|
3.9
|
2.8
|
4.6
|
5.3
|
|
N2
|
流
|
Pa•m3/s
|
26~31
|
26~31
|
26~31
|
26~31
|
28~33
|
228
|
28~33
|
228
|
34~35
|
|
电源相位/电压/频率
|
200V型号
|
|
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
|
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
|
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
|
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
|
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
|
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
|
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
|
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
|
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
|
|
400V型号
|
|
三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
|
三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
|
三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
|
三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
|
三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
|
-
|
三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
|
三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
|
三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
|
|
原理图质量
|
KG
|
170
|
320
|
360
|
400
|
500
|
580
|
740
|
820
|
870
|