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- 产品名称：日本到货EBARA荏原干式真空泵EST10N
- 产品型号：EST10N.
- 产品展商：EBARA荏原
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简单介绍
日本到货EBARA荏原干式真空泵EST10N
EST型采用螺旋式转子，配备高温功能以保持泵内气体温度，非常适合CVD等反应副产物形成的应用。 防腐蚀材料被作为标准使用，以实现高排气速度和高流量，减少停机时间并提升工艺效率。
产品描述
日本到货EBARA荏原干式真空泵EST10N
日本到货EBARA荏原干式真空泵EST10N
EBARA独特的高温技术支持高负载工艺，在半导体、液晶和太阳能电池制造过程中产生反应副产物。 高节能性能同时实现高负载工艺和节能。 防腐蚀材料为标准配置，同时也有排量为110,000升/分钟的大排量型号。 根据工艺条件，产品种类繁多，能够处理各种高负载工艺。
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模型
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单位
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EST10N
|
EST25N
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EST100WN
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EST200WN
|
EST300WN
|
EST500WN
|
EST800WN
|
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冷却水
|
流
|
L/min
|
5~8
|
5~8
|
5~8
|
5~8
|
5~8
|
5~8
|
5~8
|
|
温度
|
°C
|
*多30人
|
*多30人
|
*多30人
|
*多30人
|
*多30人
|
*多30人
|
*多30人
|
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电源
|
功率容量
|
kVA
|
4.6
|
7.3
|
8.2
|
8.5
|
12.7
|
15.1
|
16
|
|
排气速度
|
L/min
|
1000
|
2500
|
10000
|
20000
|
30000
|
50000
|
80000
|
|
达到压力
|
爸
|
2.7
|
0.4
|
0.4
|
0.4
|
0.4
|
0.4
|
0.5
|
|
连接口径
|
进气口
|
|
NW40
|
NW40
|
NW50
|
NW100
|
NW100
|
ISO160
|
ISO200
|
|
排气口
|
|
NW40
|
NW40
|
NW40
|
NW40
|
NW40
|
NW40
|
NW40
|
|
达到压力时的近似功率。
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千瓦
|
2.3
|
3
|
3.2
|
3.2
|
4.5
|
4.6
|
4.6
|
|
N2
|
流
|
Pa•m3/s
|
13~18
|
13~18
|
24~29
|
24~29
|
28~31
|
28~31
|
28~31
|
|
电源相位/电压/频率
|
200V型号
|
|
三相/200-220V，50/60Hz
|
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
|
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
|
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
|
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
|
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
|
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
|
|
400V型号
|
|
三相/380-440V，50/60Hz
|
三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
|
三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
|
三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
|
三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
|
三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
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-
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原理图质量
|
KG
|
260
|
300
|
380
|
430
|
500
|
550
|
840
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