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日本原装EBARA荏原直列垂直多级泵FDGP1134

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  • 产品名称:日本原装EBARA荏原直列垂直多级泵FDGP1134
  • 产品型号:FDGP1134.
  • 产品展商:EBARA荏原
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简单介绍

日本原装EBARA荏原直列垂直多级泵FDGP1134 EST型采用螺旋式转子,配备高温功能以保持泵内气体温度,非常适合CVD等反应副产物形成的应用。 防腐蚀材料被作为标准使用,以实现高排气速度和高流量,减少停机时间并提升工艺效率。

产品描述
日本原装EBARA荏原直列垂直多级泵FDGP1134
日本原装EBARA荏原直列垂直多级泵FDGP1134





品牌背景与企业定位

  • 成立与发展‌:日本荏原制作所总部位于东京,是全球*大的单一品牌泵类制造商之一。
  • 全球布局‌:截至2026年,荏原集团在全球拥有101家子公司与18家参股公司,员工近2万人,业务覆盖五大洲,年销售额超45亿美元,泵类产品年销售额逾22亿美元,位居世界前列。
  • 技术声誉‌:以“水、气与环境领域提供精良技术与服务”为核心理念,被誉为“泵的巨人”,在流体控制、真空技术与半导体制造设备领域具备全球领导地位。

核心产品线与技术优势

1. 水泵系统(核心主业)

荏原水泵产品覆盖工业、市政、建筑、能源全场景,以高效率、耐腐蚀、智能化著称:

表格
产品系列 典型型号 流量范围 扬程范围 功率范围 应用领域
卧式端吸泵 FSC、GSC 1–600 m³/h 10–120 m 0.75–110 kW 市政供水、工业循环、建筑消防
多级离心泵 CDX、2CDX 1–100 m³/h 10–300 m 1.5–75 kW 高层建筑供水、反渗透海水淡化(压力达25 bar)
不锈钢离心泵 3M、3S、3P 6–132 m³/h 6–72 m 0.55–55 kW 化工、制药、食品饮料(AISI 304/316L材质)
潜水排污泵 EVMS、DLE 2–54 m³/h 1.6–21.8 m 0.75–7.5 kW 市政污水、工业废水(可过φ50mm固体颗粒)
自吸泵 FQD、RSC 10–600 m³/h 10–50 m 5.5–110 kW 农业灌溉、防洪排涝、应急供水
立式双吸泵 CNV 100–1000 m³/h 20–150 m 30–300 kW 大型水厂原水输送(如福州飞凤山水厂)
  • 技术亮点‌:
    • IE5超高效永磁电机‌:内置逆变器,节能30–50%,符合全球*高能效标准。
    • CFD流体仿真设计‌:叶轮效率提升8–15%,NPSHr降低30%,抗气蚀性能**。
    • EBARA Smart Pump系统‌:集成IoT传感器,实时监测振动、温度、能耗,支持远程诊断与预测性维护。

2. 真空设备(半导体与制造)

荏原是全球干式真空泵技术,广泛应用于半导体、液晶、光伏制造:

  • EV-M系列‌:罗茨泵结构,专为高负荷、高副产物工艺设计,适用于蚀刻、CVD、PVD等制程,极限压力可达5 Pa,支持380V/50Hz等多种电源规格。
  • EV-X系列‌:小型化、高负荷设计,满足Subfab空间受限需求,交货周期短,总拥有成本低。
  • 耐腐蚀设计‌:标准采用耐蚀材料,可选特殊涂层,抵抗氯气、氟化物等腐蚀性气体侵蚀。

3. 半导体制造设备

  • CMP(化学机械抛光)设备‌:F-REX系列为全球主流晶圆平坦化设备,广泛用于逻辑芯片与存储器制造,支持纳米级表面精度控制。
  • 废气处理装置‌:集成干式真空泵与等离子体处理单元,实现半导体厂VOCs与酸性废气高效净化。

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