ULVAC爱发科DOP-301SB排气量大摇动活塞型干泵

ULVAC爱发科DOP-301SB排气量大摇动活塞型干泵

品牌背景与公司概况‌

• ‌公司全称‌：日本真空技术株式会社，中文品牌名为“爱发科”
• ‌成立时间‌：1952年8月23日
• ‌总部地点‌：日本神奈川县茅崎市

‌核心产品线与代表性型号‌

爱发科以‌真空设备‌为核心，真空泵、薄膜沉积设备、等离子处理系统‌，应用于半导体制造、光学镀膜、新能源材料等领域。

‌ 真空泵系列‌

• ‌DA-30D‌：干式隔膜真空泵，无油设计，适用于洁净环境，广泛用于半导体工艺
• ‌VDN301‌：双极旋片真空泵，高稳定性，适用于中高真空环境
• ‌VD30C‌：油旋式真空泵，适用于传统工业真空系统

应用领域	典型应用场景	对应设备型号
半导体制造	晶圆表面绝缘层沉积、钝化层制备	CMD系列、CC-200
显示面板	OLED、TFT-LCD镀膜	PECVD系统
太阳能电池	非晶硅薄膜沉积	CMD、CC-200
真空镀膜	光学镜片、工具涂层	DA-30D、VD系列真空泵
科研实验	实验室级薄膜生长	PD-2201LC

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